羅茨旋片機組
　　羅茨旋片機組是由羅茨泵為主泵和中間泵，以旋片泵為前級泵的真空機組。該機組具有真空度高，抽速范圍廣等特點，它較適用于抽除干燥、潔凈的氣體。當(dāng)帶有氣鎮(zhèn)裝置時，也可以抽除含少量水蒸汽的氣體。該系列機組廣泛應(yīng)用于需要大抽速和中高真空（10-1—10-2）的真空系統(tǒng)中。該系列機組已廣泛應(yīng)用于冶金、化工、輕工、石油、醫(yī)藥、印染、電器、電真空、半導(dǎo)體、食品、原子能、紡織等行業(yè)。例如：冶金工業(yè) 中的大規(guī)模鋼液真空脫氣過程；電力電容器和變壓器的真空 浸漬處理；化纖工業(yè)的條綸切片；真空鍍膜設(shè)備中擴散泵的前級機組等。
　　泵的冷卻方式有兩種，一種是借助工作介質(zhì)自身的循環(huán)以吸收運轉(zhuǎn)中產(chǎn)生的熱量，即由泵的吐出口引一股液體（需經(jīng)過濾）從電機尾部進入后軸承處，再經(jīng)轉(zhuǎn)子與定子之間的間隙和前軸承等通路返回葉輪，形成循環(huán)冷卻系統(tǒng)，以此來達到冷卻的目的，輸送常溫液體的普通屏蔽泵常采用這種方式進行冷卻；另一種是轉(zhuǎn)子的內(nèi)部冷卻，即將轉(zhuǎn)子用循環(huán)油冷卻，在泵軸兩端分別有油孔、油徑軸頭打入，經(jīng)轉(zhuǎn)子內(nèi)壁再從另一端排出，當(dāng)泵在高壓差下工作時，可采用這種冷卻方式。